Kính hiển vi điện tử quét Hitachi có một lợi thế kỹ thuật rõ ràng hơn

Kính hiển vi điện tử quét Hitachi là một thiết bị điện tử tốt được phát triển vào những năm 1960. Sử dụng Kính hiển vi điện tử quét Hitachi, bạn có thể điều tra sự xuất hiện của mẫu chung, và sau đó rút ra khái niệm về bố cục lập thể của mẫu. Hệ thống chiếu sáng của kính hiển vi điện tử quét mặt trời mọc tương tự như trong kính hiển vi điện tử truyền qua. Nhưng không giống như vậy là kính hiển vi điện tử quét có một số nhu cầu riêng, chẳng hạn như do tụ điện sau khi xuất hiện chùm tia điện tử nên có đường kính rất nhỏ của đầu dò điện tử; chùm tia điện tử có thể được sử dụng để quét chuyển động; kế hoạch ngưng tụ cuối cùng phải dễ dàng báo hiệu Thu thập và như vậy. Kính hiển vi điện tử quét Hitachi chủ yếu là sử dụng hình ảnh tín hiệu điện tử thứ cấp để quan sát hình thái bề mặt của mẫu, nghĩa là, với một chùm điện tử rất hẹp để quét mẫu, thông qua sự tương tác của chùm điện tử với mẫu để tạo ra nhiều hiệu ứng. , là mẫu chính phát xạ điện tử.



Cấu trúc kính hiển vi điện tử quét Hitachi:

Kính hiển vi điện tử quét của Hitachi bao gồm ba thành phần chính: hệ thống chân không, hệ thống chùm tia điện tử và hệ thống hình ảnh.
Hệ thống chân không - chủ yếu bao gồm bơm chân không và hai phần cột chân không. Cột chân không là một bình chứa hình trụ kín. Bơm chân không được sử dụng để tạo chân không trong cột chân không.

Hệ thống chùm tia điện tử ---- Hệ thống chùm tia điện tử bao gồm súng điện tử và thấu kính điện từ gồm hai phần, chủ yếu được sử dụng để tạo ra một bó năng lượng phân bố rất hẹp, năng lượng điện tử để xác định chùm tia điện tử để quét ảnh. Súng bắn điện tử được sử dụng để tạo ra các điện tử, chủ yếu sử dụng hiệu ứng phát xạ trường để tạo ra các điện tử và sử dụng hiệu ứng tỏa nhiệt để tạo ra các điện tử.
Hệ thống hình ảnh ---- điện tử thông qua một loạt các bó thấu kính điện từ, va chạm vào mẫu và tương tác với mẫu, sẽ tạo ra các điện tử thứ cấp, các điện tử phân tán trở lại, da điện tử và tia X và một loạt tín hiệu. Vì vậy, cần có các máy dò khác nhau như máy dò điện tử thứ cấp, máy phân tích phổ tia X, v.v., để phân biệt các tín hiệu này nhằm thu được thông tin mong muốn.
Nguyên tắc của kính hiển vi điện tử quét Hitachi

Nguyên tắc làm việc của kính hiển vi điện tử quét Hitachi chủ yếu là sử dụng hình ảnh điện tử thứ cấp, nguyên tắc làm việc của kính hiển vi điện tử quét Hitachi là: từ dây tóc súng điện tử phát ra bởi chùm tia điện tử có đường kính khoảng 20 ~ 35μm, bởi cực dương 1 ~ 40kV áp suất cao tăng tốc Ống gương, và bằng gương thứ nhất, gương mờ và sự hội tụ của vật kính, thu hẹp thành đường kính khoảng hàng chục góc của chùm tia điện tử hẹp bắn vào mẫu.
Đồng thời, nút lệch làm cho chùm điện tử được quét trong một cách tử trên mẫu. Sự tương tác của chùm điện tử với mẫu sẽ tạo ra nhiều loại tín hiệu, trong đó quan trọng nhất là các điện tử thứ cấp. Vì mạch điều khiển cuộn quét của ống điện tử để điều khiển chùm điện tử cũng điều khiển quét chùm điện tử của ống hình trên màn hình. Kính hiển vi điện tử quét Hitachi Theo cách này, giống như màn hình TV trên cùng một hàng, từng chút một, xếp thành hàng giống như vậy.
Hình ảnh là hình ảnh lập thể phản ánh cấu trúc bề mặt của mẫu vật. Để làm cho bề mặt mẫu vật phát ra các điện tử thứ cấp, mẫu vật ở trạng thái cố định, khử nước, phun ra một lớp hạt kim loại nặng, kim loại nặng trong chùm điện tử dưới sự bắn phá của tín hiệu điện tử thứ cấp.