กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดของฮิตาชิมีข้อได้เปรียบทางเทคนิคที่ชัดเจนกว่า

Hitachi Scanning Electron Microscope เป็นเครื่องมืออิเล็กทรอนิกส์ชั้นดีที่พัฒนาขึ้นในปี 1960 ด้วยการใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนของฮิตาชิ คุณสามารถตรวจสอบลักษณะที่ปรากฏของตัวอย่างจำนวนมาก จากนั้นจึงวาดแนวคิดของเลย์เอาต์สามมิติของตัวอย่าง ระบบส่องสว่างด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดพระอาทิตย์ขึ้นนั้นคล้ายคลึงกับระบบส่องกล้องกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน แต่ไม่เหมือนกันคือกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดมีความต้องการเฉพาะบางอย่าง เช่น โดยคอนเดนเซอร์หลังจากการมาถึงของตัวอย่างที่ลำอิเล็กตรอนควรมีเส้นผ่านศูนย์กลางเล็กมากของหัววัดอิเล็กตรอน ลำแสงอิเล็กตรอนสามารถใช้สำหรับการสแกนการเคลื่อนไหว แผนคอนเดนเซอร์ขั้นสุดท้ายควรส่งสัญญาณการรวบรวมได้ง่ายเป็นต้น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดแบบสแกนของฮิตาชิเป็นส่วนใหญ่ใช้การถ่ายภาพสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์รองเพื่อสังเกตสัณฐานวิทยาของพื้นผิวของตัวอย่าง นั่นคือ ด้วยลำแสงอิเล็กตรอนที่แคบมากในการสแกนตัวอย่าง ผ่านปฏิสัมพันธ์ของลำแสงอิเล็กตรอนกับตัวอย่างเพื่อสร้างผลกระทบที่หลากหลาย ซึ่งเป็นตัวอย่างหลักการปล่อยอิเล็กตรอน
BBBBBBB BBBBBBB BBBBBBB โครงสร้างกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนของฮิตาชิ:
BBBBBBB กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดของฮิตาชิประกอบด้วยสามองค์ประกอบหลัก ได้แก่ ระบบสูญญากาศ ระบบลำแสงอิเล็กตรอน และระบบภาพ
BBBBBBB ระบบสูญญากาศ - ส่วนใหญ่รวมถึงปั๊มสุญญากาศและคอลัมน์สุญญากาศสองส่วน คอลัมน์สูญญากาศเป็นภาชนะทรงกระบอกที่ปิดสนิท ปั๊มสุญญากาศใช้สร้างสุญญากาศในคอลัมน์สุญญากาศ
BBBBBBB ระบบลำแสงอิเล็กตรอน ---- ระบบลำแสงอิเล็กตรอนประกอบด้วยปืนอิเล็กตรอนและเลนส์แม่เหล็กไฟฟ้าประกอบด้วยสองส่วน ส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตมัดของการกระจายพลังงานแคบมาก พลังงานอิเล็กตรอนเพื่อตรวจสอบลำอิเล็กตรอนสำหรับการสแกนภาพ ปืนอิเล็กตรอนใช้ในการสร้างอิเล็กตรอนโดยส่วนใหญ่ใช้เอฟเฟกต์การปล่อยสนามเพื่อผลิตอิเล็กตรอนและใช้เอฟเฟกต์การแผ่รังสีความร้อนเพื่อผลิตอิเล็กตรอน
BBBBBBB ระบบการถ่ายภาพ ---- อิเล็กทรอนิกส์ผ่านชุดเลนส์แม่เหล็กไฟฟ้า ตีตัวอย่างและปฏิกิริยาของตัวอย่าง จะผลิตอิเล็กตรอนทุติยภูมิ อิเล็กตรอนกระจัดกระจายกลับ หนังอิเล็กทรอนิกส์ และเอ็กซ์เรย์ และชุดสัญญาณ ดังนั้น จึงจำเป็นต้องใช้เครื่องตรวจจับที่แตกต่างกัน เช่น เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัมเอ็กซ์เรย์ ฯลฯ เพื่อแยกแยะสัญญาณเหล่านี้เพื่อให้ได้ข้อมูลที่ต้องการ
BBBBBBB หลักการกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดของฮิตาชิ
BBBBBBB หลักการทำงานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดของฮิตาชิส่วนใหญ่เป็นการใช้ภาพอิเล็กทรอนิกส์รอง หลักการทำงานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนของฮิตาชิคือ: จากเส้นใยปืนอิเล็กตรอนที่ออกโดยเส้นผ่าศูนย์กลางประมาณ 20 ~ 35μm ลำแสงอิเล็กตรอน โดยแอโนด 1 ~ 40kV เร่งแรงดันสูง หลอดกระจก และโดยประการแรก กระจกหรี่แสงและการบรรจบกันของเลนส์ใกล้วัตถุ แคบลงในเส้นผ่านศูนย์กลางประมาณสิบอังสตรอมของลำแสงอิเล็กตรอนแคบที่ยิงบนตัวอย่าง
BBBBBBB ในเวลาเดียวกัน แอกโก่งตัวทำให้ลำแสงอิเล็กตรอนถูกสแกนในตะแกรงบนตัวอย่าง ปฏิกิริยาของลำแสงอิเล็กตรอนกับตัวอย่างจะทำให้เกิดสัญญาณที่หลากหลาย ซึ่งที่สำคัญที่สุดคืออิเล็กตรอนทุติยภูมิ เนื่องจากวงจรที่ควบคุมขดลวดสแกนของลำแสงอิเล็กตรอนเพื่อควบคุมลำแสงอิเล็กตรอนก็ควบคุมการสแกนลำแสงอิเล็กตรอนของหลอดภาพบนหน้าจอด้วย Hitachi Scanning Electron Microscope ด้วยวิธีนี้เหมือนหน้าจอทีวีที่เหมือนกันทีละเล็กทีละน้อยเข้าแถวให้เหมือน
BBBBBBB ภาพนี้เป็นภาพสามมิติที่สะท้อนถึงโครงสร้างพื้นผิวของชิ้นงานทดสอบ เพื่อที่จะทำให้พื้นผิวของตัวอย่างปล่อยอิเลคตรอนทุติยภูมิ, ชิ้นงานทดสอบในที่ตายตัว, แห้ง, เพื่อพ่นชั้นของอนุภาคโลหะหนัก, โลหะหนักในลำอิเล็กตรอนภายใต้การทิ้งระเบิดของสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์ทุติยภูมิ