日立の走査型電子顕微鏡には、より明白な技術的利点があります。

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日立の走査型電子顕微鏡には、より明白な技術的優位性があります

日立走査電子顕微鏡は、1960年代に開発された微細電子機器です。日立走査型電子顕微鏡を使用して、バルクサンプルの外観を調査し、サンプルの立体配置の概念を描画できます。サンライズ走査型電子顕微鏡照明システムは、透過型電子顕微鏡の照明システムに似ています。しかし、同じではありませんが、走査型電子顕微鏡にはいくつかの独自のニーズがあります。たとえば、電子ビームでのサンプルの到着後にコンデンサーを使用する場合、電子プローブの直径は非常に小さくする必要があります。電子ビームは走査移動に使用できます。最終コンデンサー計画は、信号収集などを簡単に行う必要があります。日立の走査型電子顕微鏡は、主に二次電子信号イメージングを使用してサンプルの表面形態を観察します。つまり、非常に狭い電子ビームでサンプルをスキャンし、電子ビームとサンプルの相互作用を通じてさまざまな効果を生み出します。主なサンプルである電子放出.

日立走査型電子顕微鏡構造：

日立の走査型電子顕微鏡は、真空系、電子線系、撮像系の3つの主要構成要素で構成されています。

真空システム - 主に真空ポンプと真空カラムの 2 つの部分を含みます。真空カラムは密閉された円筒形の容器です。真空ポンプは、真空カラム内を真空にするために使用されます。

電子ビームシステム ---- 電子ビームシステムは、電子銃と 2 つの部分で構成される電磁レンズで構成され、主にエネルギー分布のバンドルを生成するために使用されます。電子銃は電子を生成するために使用され、主に電界放出効果を使用して電子を生成し、熱放出効果を使用して電子を生成します。

イメージングシステム ---- 電子一連の電磁レンズバンドルを介して、サンプルとサンプルの相互作用をヒットし、二次電子、後方散乱電子、電子革、X 線、および一連の信号を生成します。そのため、これらの信号を区別して目的の情報を取得するには、二次電子検出器、X 線スペクトルアナライザーなどのさまざまな検出器が必要です。

日立走査電子顕微鏡の原理

日立走査型電子顕微鏡の動作原理は、主に二次電子イメージングの使用であり、日立走査型電子顕微鏡の動作原理は次のとおりです。電子銃フィラメントから、直径約20〜35μmの電子ビームが放出され、アノード1〜40kVの高圧加速によってミラーチューブ、および最初のダイマーミラーと対物レンズの収束により、サンプルにショットされた細い電子ビームの直径が数十オングストローム程度に狭められます。

同時に、偏向ヨークによって、電子ビームがサンプル上の格子内で走査されます。サンプルとの電子ビーム相互作用は、さまざまな信号を生成しますが、その中で最も重要なのは二次電子です。電子ビームの走査コイルを制御して電子ビームを制御する回路は、画面上での受像管の電子ビームの走査も制御するためです。日立走査型電子顕微鏡このように、同じテレビ画面のように、少しずつ並んで、似たような形に並んでいます。
画像は標本の表面構造を反映した立体画像です。試料の表面に二次電子を放出させるために、試料を固定し、脱水し、重金属粒子の層を噴霧し、二次電子信号の衝撃の下で電子ビーム内の重金属を噴霧します。