میکروسکوپ الکترونی روبشی هیتاچی مزیت فنی آشکارتری دارد

میکروسکوپ الکترونی اسکن هیتاچی یک ابزار الکترونیکی خوب است که در دهه 1960 ساخته شد. با استفاده از میکروسکوپ الکترونی اسکن هیتاچی، می توانید ظاهر نمونه حجیم را بررسی کنید و سپس مفهوم طرح استریوسکوپی نمونه را ترسیم کنید. سیستم روشنایی میکروسکوپ الکترونی روبشی طلوع خورشید شبیه به میکروسکوپ الکترونی عبوری است. اما همان است که میکروسکوپ الکترونی روبشی دارای برخی از نیازهای منحصر به فرد است، مانند کندانسور پس از ورود نمونه در پرتو الکترونی باید قطر بسیار کوچکی از پروب الکترونی داشته باشد. پرتو الکترونی را می توان برای حرکت اسکن استفاده کرد. طرح نهایی کندانسور باید به راحتی سیگنال جمع آوری و غیره باشد. میکروسکوپ الکترونی روبشی هیتاچی عمدتاً استفاده از تصویربرداری سیگنال الکترونیکی ثانویه برای مشاهده مورفولوژی سطح نمونه است، یعنی با یک پرتو الکترونی بسیار باریک برای اسکن نمونه، از طریق تعامل پرتو الکترونی با نمونه برای ایجاد اثرات مختلف. ، که نمونه اصلی انتشار الکترون است.

B
B
B ساختار میکروسکوپ الکترونی اسکن هیتاچی:

B میکروسکوپ الکترونی اسکن هیتاچی از سه جزء اصلی تشکیل شده است: یک سیستم خلاء، یک سیستم پرتو الکترونی و یک سیستم تصویربرداری.

B سیستم خلاء - عمدتا شامل پمپ خلاء و ستون خلاء دو بخش است. ستون خلاء یک ظرف استوانه ای مهر و موم شده است. پمپ خلاء برای ایجاد خلاء در ستون خلاء استفاده می شود.
B
B سیستم پرتو الکترونی ---- سیستم پرتو الکترونی متشکل از تفنگ الکترونی و لنز الکترومغناطیسی متشکل از دو بخش است که عمدتاً برای تولید بسته‌ای از توزیع انرژی استفاده می‌شود بسیار باریک است، انرژی الکترونی برای تعیین پرتو الکترونی برای تصویربرداری اسکن. تفنگ های الکترونی برای تولید الکترون استفاده می شود که عمدتاً از اثر انتشار میدان برای تولید الکترون و از اثر انتشار گرما برای تولید الکترون استفاده می کند.

B سیستم تصویربرداری ---- الکترونیکی از طریق یک سری از بسته های لنز الکترومغناطیسی، ضربه نمونه و نمونه برهمکنش، الکترون های ثانویه، الکترون های پراکنده پشت، چرم الکترونیکی و اشعه ایکس و یک سری سیگنال تولید می کند. بنابراین آشکارسازهای مختلفی مانند آشکارسازهای الکترونی ثانویه، آنالایزرهای طیف اشعه ایکس و غیره برای تشخیص این سیگنال ها برای به دست آوردن اطلاعات مورد نظر مورد نیاز هستند.

B اصل میکروسکوپ الکترونی اسکن هیتاچی
B
B اصل کار میکروسکوپ الکترونی روبشی هیتاچی عمدتاً استفاده از تصویربرداری الکترونیکی ثانویه است، اصل کار میکروسکوپ الکترونی روبشی هیتاچی این است: از رشته تفنگ الکترونی صادر شده توسط قطر حدود 20 ~ 35μm پرتو الکترونی، توسط آند 1 ~ 40kV فشار بالا شتاب می شود. لوله آینه، و با اولین، آینه دایمر و همگرایی عدسی شیئی، به قطر حدود ده ها آنگستروم از پرتو الکترونی باریکی که روی نمونه شلیک شده است، باریک شد.
B
B در عین حال، یوغ انحراف باعث می شود پرتو الکترونی در یک توری روی نمونه اسکن شود. برهمکنش پرتو الکترونی با نمونه سیگنال های مختلفی تولید می کند که مهمترین آنها الکترون های ثانویه است. از آنجایی که مداری که سیم پیچ اسکن پرتو الکترونی را برای کنترل پرتو الکترونی کنترل می کند، اسکن پرتو الکترونی لوله تصویر روی صفحه را نیز کنترل می کند. میکروسکوپ الکترونی اسکن هیتاچی به این ترتیب، مانند صفحه تلویزیون روی همان، کم کم به یک ردیف بپیوندید تا شبیه به آن بسازید.

B تصویر یک تصویر استریوسکوپی است که ساختار سطح نمونه را منعکس می کند. به منظور ایجاد سطح نمونه الکترون های ثانویه، نمونه ها در حالت ثابت، کم آب، به اسپری لایه ای از ذرات فلزات سنگین، فلزات سنگین در پرتو الکترونی تحت بمباران سیگنال های الکترونیکی ثانویه.