Die Rasterelektronenmikroskopie von Hitachi hat einen offensichtlicheren technischen Vorteil

Das Rasterelektronenmikroskop von Hitachi ist ein feines elektronisches Instrument, das in den 1960er Jahren entwickelt wurde. Mit dem Rasterelektronenmikroskop von Hitachi können Sie das Erscheinungsbild der Massenprobe untersuchen und dann das Konzept des stereoskopischen Layouts der Probe zeichnen. Das Beleuchtungssystem des Sunrise-Rasterelektronenmikroskops ähnelt dem in der Transmissionselektronenmikroskopie. Aber nicht dasselbe ist das Rasterelektronenmikroskop hat einige einzigartige Bedürfnisse, wie zum Beispiel durch den Kondensor nach dem Eintreffen der Probe am Elektronenstrahl sollte der Durchmesser der Elektronensonde sehr klein sein; Elektronenstrahl kann zur Abtastbewegung verwendet werden; Der endgültige Kondensatorplan sollte einfach zu signalisieren sein. Sammeln und so weiter. Rasterelektronenmikroskopie von Hitachi ist hauptsächlich die Verwendung von sekundärer elektronischer Signalabbildung, um die Oberflächenmorphologie der Probe zu beobachten, dh mit einem sehr schmalen Elektronenstrahl, um die Probe durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit der Probe zu scannen, um eine Vielzahl von Effekten zu erzeugen , das ist die Hauptprobe Elektronenemission.
BBBBBBB BBBBBBB BBBBBBB Struktur des Hitachi-Rasterelektronenmikroskops:
BBBBBBB Das Rasterelektronenmikroskop von Hitachi besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Vakuumsystem, einem Elektronenstrahlsystem und einem Abbildungssystem.
BBBBBBB Vakuumsystem - hauptsächlich bestehend aus Vakuumpumpe und zweiteiliger Vakuumsäule. Die Vakuumkolonne ist ein versiegelter zylindrischer Behälter. Die Vakuumpumpe dient zur Vakuumerzeugung in der Vakuumkolonne.
BBBBBBB Elektronenstrahlsystem ---- Elektronenstrahlsystem besteht aus einer Elektronenkanone und einer elektromagnetischen Linse, die aus zwei Teilen besteht und hauptsächlich zur Erzeugung eines sehr engen Energiebündels verwendet wird, um die Elektronenenergie für die Abtastbildgebung zu bestimmen. Elektronenkanonen werden verwendet, um Elektronen zu erzeugen, wobei hauptsächlich der Feldemissionseffekt zur Erzeugung von Elektronen und der Wärmeemissionseffekt zur Erzeugung von Elektronen verwendet werden.
BBBBBBB Abbildungssystem ---- elektronisch durch eine Reihe von elektromagnetischen Linsenbündeln, trifft die Probe und die Probeninteraktion erzeugt Sekundärelektronen, zurückgestreute Elektronen, elektronisches Leder und Röntgenstrahlen und eine Reihe von Signalen. Daher werden verschiedene Detektoren wie Sekundärelektronendetektoren, Röntgenspektrumanalysatoren usw. benötigt, um diese Signale zu unterscheiden und die gewünschten Informationen zu erhalten.
BBBBBBB Rasterelektronenmikroskop-Prinzip von Hitachi
BBBBBBB Das Arbeitsprinzip der Hitachi-Rasterelektronenmikroskopie ist hauptsächlich die Verwendung von sekundärer elektronischer Bildgebung. Das Arbeitsprinzip der Hitachi-Rasterelektronenmikroskopie ist folgendes: Aus dem Elektronenkanonenfaden, der durch den Durchmesser von etwa 20 ~ 35 μm Elektronenstrahl ausgegeben wird, durch die Anode 1 ~ 40 kV Hochdruckbeschleunigung Spiegelröhre, und durch den ersten dimeren Spiegel und die Konvergenz der Objektivlinse, verengt sich der schmale Elektronenstrahl, der auf die Probe geschossen wird, auf einen Durchmesser von etwa zehn Angström BBBBBBB Gleichzeitig bewirkt das Ablenkjoch, dass der Elektronenstrahl in einem Gitter auf der Probe gescannt wird. Die Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit der Probe erzeugt eine Vielzahl von Signalen, von denen das wichtigste Sekundärelektronen sind. Da die Schaltung, die die Abtastspule des Elektronenstrahls zur Steuerung des Elektronenstrahls steuert, auch die Abtastung des Elektronenstrahls der Bildröhre auf dem Bildschirm steuert. Hitachi Scanning Electron Microscope Auf diese Weise, wie der TV-Bildschirm auf dem gleichen, nach und nach, Line up, um ein like.
zu bilden BBBBBBB Das Bild ist ein stereoskopisches Bild, das die Oberflächenstruktur der Probe widerspiegelt. Um die Oberfläche der Probe zu machen emittierte Sekundärelektronen, Proben in den festen, dehydrierten, um eine Schicht aus Schwermetallpartikeln, Schwermetalle im Elektronenstrahl unter dem Beschuss von sekundären elektronischen Signalen zu sprühen.