يتمتع الفحص المجهري الإلكتروني لهيتاشي بميزة تقنية أكثر وضوحًا

مجهر هيتاشي المسح الإلكتروني هو أداة إلكترونية جيدة تم تطويرها في الستينيات. باستخدام مجهر المسح الإلكتروني من هيتاشي ، يمكنك التحقق من مظهر العينة المجمعة ، ثم رسم مفهوم التخطيط المجسم للعينة. يشبه نظام إضاءة المجهر الإلكتروني الماسح لشروق الشمس ذلك الموجود في المجهر الإلكتروني النافذ. ولكن ليس نفس الشيء هو أن المجهر الإلكتروني الماسح له بعض الاحتياجات الفريدة ، مثل المكثف بعد وصول العينة إلى شعاع الإلكترون يجب أن يكون قطره صغيرًا جدًا من مسبار الإلكترون ؛ يمكن استخدام شعاع الإلكترون لمسح الحركة ؛ يجب أن تكون خطة المكثف النهائية سهلة لتجميع الإشارات وما إلى ذلك. الفحص المجهري الإلكتروني من هيتاشي هو بشكل أساسي استخدام التصوير الثانوي للإشارة الإلكترونية لمراقبة شكل سطح العينة ، أي باستخدام حزمة إلكترونية ضيقة جدًا لمسح العينة ، من خلال تفاعل شعاع الإلكترون مع العينة لإنتاج مجموعة متنوعة من التأثيرات ، وهي العينة الرئيسية لانبعاث الإلكترون


هيكل مجهر المسح الإلكتروني من هيتاشي:

يتكون مجهر هيتاشي للمسح الإلكتروني من ثلاثة مكونات رئيسية: نظام تفريغ ونظام شعاع إلكتروني ونظام تصوير.
نظام الفراغ - يشمل بشكل أساسي مضخة التفريغ وجزء العمود الفراغي. عمود الفراغ عبارة عن حاوية أسطوانية محكمة الغلق. تستخدم مضخة التفريغ لتوليد فراغ في عمود التفريغ
نظام شعاع الإلكترون - يتكون نظام شعاع الإلكترون من مدفع إلكترون وعدسة كهرومغناطيسية مكونة من جزأين ، تستخدم بشكل أساسي لإنتاج حزمة من توزيع الطاقة ضيقة جدًا ، وطاقة الإلكترون لتحديد شعاع الإلكترون لمسح التصوير. تُستخدم البنادق الإلكترونية لتوليد الإلكترونات ، وذلك باستخدام تأثير انبعاث المجال بشكل أساسي لإنتاج الإلكترونات واستخدام تأثير الانبعاث الحراري لإنتاج الإلكترونات.
نظام التصوير ---- إلكتروني من خلال سلسلة من حزم العدسات الكهرومغناطيسية ، ضرب العينة وتفاعل العينة ، سينتج إلكترونات ثانوية ، إلكترونات متناثرة خلفية ، جلد إلكتروني وأشعة سينية وسلسلة من الإشارات. لذلك هناك حاجة إلى أجهزة كشف مختلفة مثل كاشفات الإلكترون الثانوية ، ومحللات طيف الأشعة السينية ، وما إلى ذلك ، لتمييز هذه الإشارات للحصول على المعلومات المطلوبة.
مبدأ مجهر المسح الإلكتروني من هيتاشي

مبدأ عمل الفحص المجهري الإلكتروني لشركة هيتاشي هو بشكل أساسي استخدام التصوير الإلكتروني الثانوي ، ومبدأ عمل الفحص المجهري الإلكتروني لشركة هيتاشي هو: من فتيل مسدس الإلكترون الصادر عن شعاع إلكتروني يبلغ قطره حوالي 20 ~ 35 ميكرون ، عن طريق تسريع الضغط العالي 1 ~ 40 كيلو فولت. أنبوب المرآة ، وبواسطة المرآة الأولى ثنائية الأبعاد وتقارب العدسة الموضوعية ، تضيق إلى قطر يبلغ حوالي عشرات الأنجستروم من شعاع الإلكترون الضيق الذي تم تصويره على العينة.
في الوقت نفسه ، يتسبب نير الانحراف في مسح شعاع الإلكترون في شبكة على العينة. سيؤدي تفاعل الحزمة الإلكترونية مع العينة إلى إنتاج مجموعة متنوعة من الإشارات ، وأهمها الإلكترونات الثانوية. نظرًا لأن الدائرة التي تتحكم في ملف المسح لشعاع الإلكترون للتحكم في شعاع الإلكترون تتحكم أيضًا في مسح شعاع الإلكترون لأنبوب الصورة على الشاشة. مجهر المسح الإلكتروني من هيتاشي بهذه الطريقة ، مثل شاشة التلفزيون الموجودة على نفس الشاشة ، شيئًا فشيئًا ، تصطف لتشكل ما شابه.
الصورة عبارة عن صورة مجسمة تعكس بنية سطح العينة. من أجل جعل سطح العينة ينبعث إلكترونات ثانوية ، عينات ثابتة ، مجففة ، لرش طبقة من جزيئات المعادن الثقيلة ، معادن ثقيلة في شعاع الإلكترون تحت قصف الإشارات الإلكترونية الثانوية.